엘오티베큠(083310) 2015.09.25 탐방보고서
■ 주요 사업의 내용
① 건식 진공 펌프
반도체 공정은 전공정/후공정/검사공정으로 나뉘며, LCD/OLED 모두 비슷하나 전공정의 경우 진공상태에서만 공정을 하고 있어서 진공펌프가 필수로 들어간다. 반도체 FAB은 2층 구조로 맨 하단에 Facility Sub Fab이 있고, 맨...
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